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SIOS校準(zhǔn)干涉儀SP 15000 C5技術(shù)參數(shù)

更新時(shí)間:2022-03-07   點(diǎn)擊次數(shù):750次

在調(diào)整和對(duì)齊機(jī)器軸時(shí)對(duì)導(dǎo)軌特性進(jìn)行高精度動(dòng)態(tài)檢測(cè)以及符合標(biāo)準(zhǔn)的軸校準(zhǔn)非常費(fèi)力和耗時(shí)。校準(zhǔn)激光干涉儀 SP 15000 C5 的開(kāi)發(fā)旨在滿足機(jī)器和設(shè)備制造商的需求。 這可以實(shí)現(xiàn)同步、連續(xù)的 5 DOF 測(cè)量。使用激光干涉儀高精度記錄所有參數(shù)長(zhǎng)度、俯仰角、偏航角和直線度,從而在所有三個(gè)長(zhǎng)度測(cè)量通道中使用相同的高度穩(wěn)定的激光頻率。緊湊型直線度選項(xiàng)將直線度鏡直接連接到傳感器頭上。這意味著只需設(shè)置兩個(gè)組件并相互對(duì)齊。 測(cè)量系統(tǒng)現(xiàn)在可以快速可靠地安裝在狹小的空間內(nèi),尤其是在機(jī)床中。傳感器頭的光纖耦合和集成的光束方向檢測(cè)支持輕松操作和調(diào)整。對(duì)于較大的測(cè)量范圍或校準(zhǔn)任務(wù),建議使用無(wú)線溫度傳感器或 LCS 氣候站。

光束偏轉(zhuǎn)與可選的可調(diào)節(jié)偏轉(zhuǎn)鏡

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